Spatial distribution of plasma properties in a dc-magnetron discharge and influence of the discharge power
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Autoren
Organisationseinheiten
Details
| Originalsprache | Englisch |
|---|---|
| Status | Veröffentlicht - 2017 |
| Veranstaltung | 44th IOP Plasma Physics Conference - Worcester College, Oxford, Großbritannien / Vereinigtes Königreich Dauer: 3 Apr. 2017 → 6 Apr. 2017 |
Konferenz
| Konferenz | 44th IOP Plasma Physics Conference |
|---|---|
| Land/Gebiet | Großbritannien / Vereinigtes Königreich |
| Ort | Oxford |
| Zeitraum | 3/04/17 → 6/04/17 |
