Spatial distribution of plasma properties in a dc-magnetron discharge and influence of the discharge power
Publikationen: Konferenzbeitrag › Poster › Forschung › (peer-reviewed)
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Spatial distribution of plasma properties in a dc-magnetron discharge and influence of the discharge power. / Saringer, Christian; Pajdarova, A. D.; Baroch, Pawel et al.
2017. Postersitzung präsentiert bei 44th IOP Plasma Physics Conference, Oxford, Großbritannien / Vereinigtes Königreich.
2017. Postersitzung präsentiert bei 44th IOP Plasma Physics Conference, Oxford, Großbritannien / Vereinigtes Königreich.
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Saringer, C, Pajdarova, AD, Baroch, P, Zorn, K, Franz, R & Mitterer, C 2017, 'Spatial distribution of plasma properties in a dc-magnetron discharge and influence of the discharge power', 44th IOP Plasma Physics Conference, Oxford, Großbritannien / Vereinigtes Königreich, 3/04/17 - 6/04/17.
APA
Saringer, C., Pajdarova, A. D., Baroch, P., Zorn, K., Franz, R., & Mitterer, C. (2017). Spatial distribution of plasma properties in a dc-magnetron discharge and influence of the discharge power. Postersitzung präsentiert bei 44th IOP Plasma Physics Conference, Oxford, Großbritannien / Vereinigtes Königreich.
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Saringer C, Pajdarova AD, Baroch P, Zorn K, Franz R, Mitterer C. Spatial distribution of plasma properties in a dc-magnetron discharge and influence of the discharge power. 2017. Postersitzung präsentiert bei 44th IOP Plasma Physics Conference, Oxford, Großbritannien / Vereinigtes Königreich.
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title = "Spatial distribution of plasma properties in a dc-magnetron discharge and influence of the discharge power",
author = "Christian Saringer and Pajdarova, {A. D.} and Pawel Baroch and Katrin Zorn and Robert Franz and Christian Mitterer",
year = "2017",
language = "English",
note = "44th IOP Plasma Physics Conference ; Conference date: 03-04-2017 Through 06-04-2017",
}
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TY - CONF
T1 - Spatial distribution of plasma properties in a dc-magnetron discharge and influence of the discharge power
AU - Saringer, Christian
AU - Pajdarova, A. D.
AU - Baroch, Pawel
AU - Zorn, Katrin
AU - Franz, Robert
AU - Mitterer, Christian
PY - 2017
Y1 - 2017
M3 - Poster
T2 - 44th IOP Plasma Physics Conference
Y2 - 3 April 2017 through 6 April 2017
ER -
