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  1. 2018
  2. Veröffentlicht

    Time-resolved ion energy and charge state distributions in pulsed cathodic arc plasmas of Bn-Al cathodes in high vacuum

    Zöhrer, S., Anders, A. & Franz, R., 2018, in: Plasma sources science & technology. S. 1-17

    Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)

  3. 2017
  4. Elektronische Veröffentlichung vor Drucklegung.

    A correlative experimental and ab initio approach to improve the fracture behavior of Mo thin films by alloying with Cu

    Jörg, T., Music, D., Cordill, M., Franz, R., Köstenbauer, H., Linke, C., Winkler, J., Schneider, J. M. & Mitterer, C., 25 Sept. 2017, (Elektronische Veröffentlichung vor Drucklegung.) in: Applied physics letters. 111.2017, 13, S. 134101-1-134101-4

    Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)

  5. Elektronische Veröffentlichung vor Drucklegung.

    Non-reactive dc magnetron sputter deposition of Mo-O thin films from ceramic MoOx targets

    Pachlhofer, J., Martin-Luengo, A. T., Franz, R., Franzke, E., Köstenbauer, H., Winkler, J., Bonanni, A., Mitterer, S. & Mitterer, C., 18 Sept. 2017, (Elektronische Veröffentlichung vor Drucklegung.) in: Surface & coatings technology. 332.2017, 25 December, S. 80-85 6 S.

    Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)

  6. Veröffentlicht

    Electro-mechanical behavior of sputter-deposited molybdenum-aluminum multilayers

    Kreiml, P., Rausch, M., Franz, R., Winkler, J., Mitterer, C. & Cordill, M. J., 11 Sept. 2017.

    Publikationen: Konferenzbeitrag › Poster › Forschung › (peer-reviewed)

  7. Veröffentlicht

    Deformation behavior of Re alloyed Mo thin films on flexible substrates: In situ fragmentation analysis supported by first-principles calculations

    Jörg, T., Music, D., Hauser, F., Cordill, M., Franz, R., Köstenbauer, H., Winkler, J., Schneider, J. M. & Mitterer, C., 7 Aug. 2017, in: Scientific reports (London : Nature Publishing Group). 2017, 7, 10 S., 7374.

    Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)

  8. Veröffentlicht

    Industrial-scale sputter deposition of molybdenum oxide thin films: Microstructure evolution and properties

    Pachlhofer, J., Martin-Luengo, A. T., Franz, R., Franzke, E., Köstenbauer, H., Winkler, J., Bonanni, A. & Mitterer, C., 4 Jan. 2017, in: Journal of vacuum science & technology / A (JVST). 35.2017, 2, 8 S., 021504.

    Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)

  9. Veröffentlicht

    Spatial distribution of plasma properties in a dc-magnetron discharge and influence of the discharge power

    Saringer, C., Pajdarova, A. D., Baroch, P., Zorn, K., Franz, R. & Mitterer, C., 2017.

    Publikationen: Konferenzbeitrag › Poster › Forschung › (peer-reviewed)

  10. 2016
  11. Veröffentlicht

    Comparison of reactive magnetron sputter deposition of TiNx and TiOx as a function of the discharge power

    Saringer, C., Franz, R., Zorn, K. & Mitterer, C., 14 Sept. 2016.

    Publikationen: Konferenzbeitrag › Poster › Forschung

  12. Veröffentlicht

    Effect of discharge power on target poisoning and coating properties in reactive magnetron sputter deposition of TiN

    Saringer, C., Franz, R., Zorn, K. & Mitterer, C., 1 Juli 2016, in: Journal of vacuum science & technology / A (JVST). 34.2016, 4, 8 S., 041517.

    Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)

  13. Veröffentlicht

    Electro-Mechanical Behaviorof Single and Multilayer Metal Thin Films on Polymer Substrates

    Jörg, T., Cordill, M., Franz, R., Kirchlechner, C., Winkler, J. & Mitterer, C., 2016.

    Publikationen: Konferenzbeitrag › Vortrag › Forschung

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