Non-reactive dc magnetron sputter deposition of Mo-O thin films from ceramic MoOx targets
Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)
Autoren
Organisationseinheiten
Externe Organisationseinheiten
- Johannes Kepler Universität Linz
- Plansee SE, Reutte
Details
| Originalsprache | Englisch |
|---|---|
| Seiten (von - bis) | 80-85 |
| Seitenumfang | 6 |
| Fachzeitschrift | Surface & coatings technology |
| Jahrgang | 332.2017 |
| Ausgabenummer | 25 December |
| DOIs | |
| Status | Elektronische Veröffentlichung vor Drucklegung. - 18 Sept. 2017 |
