Marlene Mühlbacher
(Ehemalig)
Publikationen
- 2015
- Elektronische Veröffentlichung vor Drucklegung.
Cu diffusion in single-crystal and polycrystalline TiN barrier layers: A high-resolution experimental study supported by first-principles calculations
Mühlbacher, M., Bochkarev, A. S., Mendez Martin, F., Sartory, B., Chitu, L., Popov, M., Puschnig, P., Spitaler, J., Ding, H., Schalk, N., Lu, J., Hultman, L. & Mitterer, C., 26 Aug. 2015, (Elektronische Veröffentlichung vor Drucklegung.) in: Journal of applied physics. 118.2015, 8, 085307.Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)
- Veröffentlicht
Copper diffusion into single-crystalline TiN studied by transmission electron microscopy and atom probe tomography
Mühlbacher, M., Mendez Martin, F., Sartory, B., Schalk, N., Keckes, J., Lu, J., Hultman, L. & Mitterer, C., 2015, in: Thin solid films. 574, S. 103-109Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)
- Veröffentlicht
Diffusion in the Cu/TiN thin film system studied by atom probe tomography correlated with transmission electron microscopy and first-principles calculations
Mühlbacher, M., Mendez Martin, F., Lu, J., Schalk, N., Hultman, L. & Mitterer, C., 2015.Publikationen: Konferenzbeitrag › Vortrag › Forschung › (peer-reviewed)
- Veröffentlicht
Evaluation of TiN diffusion barrier layers with different microstructures by transmission electron microscopy and atom probe tomography
Mühlbacher, M., Mendez Martin, F., Sartory, B., Chitu, L., Lu, J., Schalk, N., Keckes, J., Hultman, L. & Mitterer, C., 2015.Publikationen: Konferenzbeitrag › Vortrag › Forschung › (peer-reviewed)
- Veröffentlicht
Functional thin films for display and microelectronics applications
Mitterer, C., Jörg, T., Franz, R., Mühlbacher, M., Sartory, B., Mendez Martin, F. & Schalk, N., 2015, in: Berg- und hüttenmännische Monatshefte : BHM. 160, 5, S. 231-234Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)
- Veröffentlicht
Interdiffusion within model TiN/Cu and TiTaN/Cu systems synthesized by combinatorial thin film deposition
Mühlbacher, M., 2015Publikationen: Thesis / Studienabschlussarbeiten und Habilitationsschriften › Dissertation
- Veröffentlicht
Recent progress in advanced characterization methods for the development of hard coatings: From improved composition/microstructure/property relations to insights in degradation behavior
Mitterer, C., Mühlbacher, M., Zeilinger, A., Stefenelli, M., Daniel, R., Tkadletz, M., Schalk, N., Sartory, B. & Keckes, J., 2015.Publikationen: Konferenzbeitrag › Vortrag › Forschung › (peer-reviewed)
- 2014
- Veröffentlicht
Cu diffusion into single-crystalline TiN studied by transmission electron microscopy and atom probe tomography
Mühlbacher, M., Mendez Martin, F., Sartory, B., Schalk, N., Keckes, J., Lu, J., Hultman, L. & Mitterer, C., 2014.Publikationen: Konferenzbeitrag › Vortrag › Forschung › (peer-reviewed)
- Veröffentlicht
Diffusion studies in epitaxial TiN/Cu layers on MgO(001) by high resolution TEM and APT
Mühlbacher, M., Mendez Martin, F., Sartory, B., Schalk, N., Keckes, J., Lu, J., Hultman, L. & Mitterer, C., 2014.Publikationen: Konferenzbeitrag › Poster › Forschung › (peer-reviewed)
- Veröffentlicht
Funktionale Schichten in der µ-Elektronik
Mitterer, C., Franz, R., Jachs, C., Hofer, A. M., Jörg, T., Pachlhofer, J. & Mühlbacher, M., 2014.Publikationen: Konferenzbeitrag › Poster › Forschung › (peer-reviewed)
