Evaluation of TiN diffusion barrier layers with different microstructures by transmission electron microscopy and atom probe tomography

Publikationen: Konferenzbeitrag › Vortrag › Forschung › (peer-reviewed)

Autoren

Erich-Schmid-Institut für Materialwissenschaft der Österreichischen Akademie der Wissenschaften
Materials Center Leoben Forschungs GmbH
Linköping University

Originalsprache	Englisch
Status	Veröffentlicht - 2015
Veranstaltung	42nd International Conference on Metallurgical Coatings and Thin Films - San Diego, USA / Vereinigte Staaten Dauer: 20 Apr. 2015 → 24 Apr. 2015 https://www2.avs.org/conferences/icmctf/

Konferenz	42nd International Conference on Metallurgical Coatings and Thin Films
Kurztitel	ICMCTF 2015
Land/Gebiet	USA / Vereinigte Staaten
Ort	San Diego
Zeitraum	20/04/15 → 24/04/15
Internetadresse	https://www2.avs.org/conferences/icmctf/