Enhanced Ti0.84Ta0.16N diffusion barriers, grown by a hybrid sputtering technique with no substrate heating, between Si (001) wafers and Cu overlayers
Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)
Autoren
Organisationseinheiten
Externe Organisationseinheiten
- Linköping University
- Materials Center Leoben Forschungs GmbH
Details
| Originalsprache | Englisch |
|---|---|
| Seiten (von - bis) | 1-9 |
| Fachzeitschrift | Scientific reports (London : Nature Publishing Group) |
| DOIs | |
| Status | Veröffentlicht - 2018 |
