Marlene Mühlbacher
(Ehemalig)
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Publikationen
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Cu diffusion into single-crystalline TiN studied by transmission electron microscopy and atom probe tomography
Mühlbacher, M., Mendez Martin, F., Sartory, B., Schalk, N., Keckes, J., Lu, J., Hultman, L. & Mitterer, C., 2014.Publikationen: Konferenzbeitrag › Vortrag › Forschung › (peer-reviewed)
- Veröffentlicht
Influence of microstructure on diffusion barrier properties of TiN investigated by TEM and APT
Mühlbacher, M., Mendez Martin, F., Sartory, B., Lu, J., Schalk, N., Lars, H. & Mitterer, C., 2014.Publikationen: Konferenzbeitrag › Vortrag › Forschung › (peer-reviewed)
- Veröffentlicht
Interfacial and inter- diffusion studies of epitaxial TiN/Cu layers on MgO (001) - A comprehensive approach by high resolution TEM and APT
Mühlbacher, M., Mendez Martin, F., Sartory, B., Keckes, J., Lu, J., Lars, H. & Mitterer, C., 2013.Publikationen: Konferenzbeitrag › Vortrag › Forschung › (peer-reviewed)
- Elektronische Veröffentlichung vor Drucklegung.
Cu diffusion in single-crystal and polycrystalline TiN barrier layers: A high-resolution experimental study supported by first-principles calculations
Mühlbacher, M., Bochkarev, A. S., Mendez Martin, F., Sartory, B., Chitu, L., Popov, M., Puschnig, P., Spitaler, J., Ding, H., Schalk, N., Lu, J., Hultman, L. & Mitterer, C., 26 Aug. 2015, (Elektronische Veröffentlichung vor Drucklegung.) in: Journal of applied physics. 118.2015, 8, 085307.Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)
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TiN diffusion barrier failure by the formation of Cu3Si investigated by electron microscopy and atom probe tomography
Mühlbacher, M., Greczynski, G., Sartory, B., Mendez Martin, F., Schalk, N., Lu, J., Hultman, L. & Mitterer, C., 19 Feb. 2016, in: Journal of Vacuum Science and Technology B, JVSTB. 34.2016, 2, S. 1-8 8 S., 022202.Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)
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Evaluation of TiN diffusion barrier layers with different microstructures by transmission electron microscopy and atom probe tomography
Mühlbacher, M., Mendez Martin, F., Sartory, B., Chitu, L., Lu, J., Schalk, N., Keckes, J., Hultman, L. & Mitterer, C., 2015.Publikationen: Konferenzbeitrag › Vortrag › Forschung › (peer-reviewed)
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Diffusion in the Cu/TiN thin film system studied by atom probe tomography correlated with transmission electron microscopy and first-principles calculations
Mühlbacher, M., Mendez Martin, F., Lu, J., Schalk, N., Hultman, L. & Mitterer, C., 2015.Publikationen: Konferenzbeitrag › Vortrag › Forschung › (peer-reviewed)
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Diffusion Studies in the TiN/Cu Bilayer System and Beyond
Mühlbacher, M., Mendez Martin, F., Sartory, B., Greczynski, G., Lu, J., Schalk, N., Hultman, L. & Mitterer, C., 2016.Publikationen: Konferenzbeitrag › Vortrag › Forschung › (peer-reviewed)
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Deformation Mechanisms in Magnetron Sputtered Thin Film Metallic Glasses
Mühlbacher, M., Gammer, C., Konetschnik, R., Schöberl, T., Mitterer, C. & Eckert, J., März 2017.Publikationen: Konferenzbeitrag › Poster › Forschung
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Interdiffusion within model TiN/Cu and TiTaN/Cu systems synthesized by combinatorial thin film deposition
Mühlbacher, M., 2015Publikationen: Thesis / Studienabschlussarbeiten und Habilitationsschriften › Dissertation
