TiN diffusion barrier failure by the formation of Cu3Si investigated by electron microscopy and atom probe tomography
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Externe Organisationseinheiten
- Materials Center Leoben Forschungs GmbH
- Linköping University
Details
| Originalsprache | Englisch |
|---|---|
| Aufsatznummer | 022202 |
| Seiten (von - bis) | 1-8 |
| Seitenumfang | 8 |
| Fachzeitschrift | Journal of Vacuum Science and Technology B, JVSTB |
| Jahrgang | 34.2016 |
| Ausgabenummer | 2 |
| DOIs | |
| Status | Veröffentlicht - 19 Feb. 2016 |
