Influence of microstructure on diffusion barrier properties of TiN investigated by TEM and APT
Publikationen: Konferenzbeitrag › Vortrag › Forschung › (peer-reviewed)
Autoren
Organisationseinheiten
Externe Organisationseinheiten
- Linköping University
- Materials Center Leoben Forschungs GmbH
Details
| Originalsprache | Englisch |
|---|---|
| Status | Veröffentlicht - 2014 |
| Veranstaltung | Functional Integrated nano Systems - nanoFIS 2014 - Graz, Österreich Dauer: 3 Dez. 2014 → 5 Dez. 2014 |
Konferenz
| Konferenz | Functional Integrated nano Systems - nanoFIS 2014 |
|---|---|
| Land/Gebiet | Österreich |
| Ort | Graz |
| Zeitraum | 3/12/14 → 5/12/14 |
