Journal of vacuum science & technology / B (JVST), ‎0734-211X

Fachzeitschrift: Zeitschrift

ISSNs0734-211X, 1071-1023, 2166-2746
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Publikationen

  1. 2019
  2. Veröffentlicht

    Oxidation and wet-etching behavior of MoAlTi thin films deposited by sputtering from a rotatable MoAlTi compound target

    Lorenz, R., O`Sullivan, M., Sprenger, D., Lang, B., Köstenbauer, H., Winkler, J. & Mitterer, C., 5 Feb. 2019, in: Journal of vacuum science & technology / B (JVST). 37.2019, 2, 021202.

    Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)

  3. 2017
  4. Veröffentlicht

    Effect of growth conditions on interface stability and thermophysical properties of sputtered Cu films on Si with and without WTi barrier layers

    Souli, I., Terziyska, V., Keckes, J., Robl, W., Zechner, J. & Mitterer, C., 9 Feb. 2017, in: Journal of vacuum science & technology / B (JVST). 35.2017, 2, 11 S., 022201.

    Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)

  5. 2016
  6. Veröffentlicht

    TiN diffusion barrier failure by the formation of Cu3Si investigated by electron microscopy and atom probe tomography

    Mühlbacher, M., Greczynski, G., Sartory, B., Mendez Martin, F., Schalk, N., Lu, J., Hultman, L. & Mitterer, C., 19 Feb. 2016, in: Journal of Vacuum Science and Technology B, JVSTB. 34.2016, 2, S. 1-8 8 S., 022202.

    Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)

  7. 2013
  8. Veröffentlicht

    Temperature dependent growth morphologies of parahexaphenyl on SiO2 supported exfoliated graphene

    Kratzer, M., Klima, S., Teichert, C., Gajić, R., Vasić, B., Matković, A. & Ralevic, U., 2013, in: Journal of vacuum science & technology / B (JVST). 31, S. 04D114-1-04D114-7

    Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)

  9. 2010
  10. Veröffentlicht

    Nanoscale electrical characterization of arrowhead defects in GaInP thin films grown on Ge

    Beinik, I., Galiana, B., Kratzer, M., Teichert, C., Rey-Stolle, I., Algora, C. & Tejedor, P., 2010, in: Journal of vacuum science & technology / B (JVST). 28, S. C5G5-C5G10

    Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)

  11. 2006
  12. Veröffentlicht

    Structure of sputtered nanocomposite CrCx/a-C:H thin films

    Gassner, G., Patscheider, J., Mayrhofer, P. H., Hegedus, E., Toth, L., Kovacs, I., Pecz, B., Srot, V., Scheu, C. & Mitterer, C., 2006, in: Journal of vacuum science & technology / B (JVST). 24, S. 1837-1843

    Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)

  13. 2003
  14. Veröffentlicht

    Thermal emissivity of carbon coated p-doped silicon stencil masks for ion projection lithography

    Braun, D., Gajic, R., Kuchar, F., Korntner, R., Haugeneder, E., Löschner, H., Butschke, J., Letzkus, F. & Springer, R., 2003, in: Journal of vacuum science & technology / B (JVST). 21, S. 123-126

    Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)

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