Journal of vacuum science & technology / A (JVST), 0734-2101
Fachzeitschrift: Zeitschrift
| ISSNs | 0734-2101 |
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Publikationen
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Angular resolved mass-energy analysis of species emitted from a dc magnetron sputtered NiW-target
Rausch, M., Mraz, S., Kreiml, P., Cordill, M. J., Schneider, J. M., Winkler, J. & Mitterer, C., 2020, in: Journal of vacuum science & technology / A (JVST). 38.2020, 2, S. 1-10 023401.Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)
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Beyond b-C3-N4-Fullerene-like carbon nitride: A promising coating material
Neidhardt, J. & Hultman, L., 2007, in: Journal of vacuum science & technology / A (JVST). A 25, S. 633-644Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)
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Chemical composition and properties of MoAl thin films deposited by sputtering from MoAl compound targets
Lorenz, R., O'Sullivan, M., Sprenger, D., Lang, B. & Mitterer, C., 18 Mai 2017, in: Journal of vacuum science & technology / A (JVST). 35.2017, 6 S., 041504.Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)
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Effect of discharge power on target poisoning and coating properties in reactive magnetron sputter deposition of TiN
Saringer, C., Franz, R., Zorn, K. & Mitterer, C., 1 Juli 2016, in: Journal of vacuum science & technology / A (JVST). 34.2016, 4, 8 S., 041517.Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)
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Effects of thermal annealing on the microstructure of sputtered Al2O3 coatings
Edlmayr, V., Harzer, T. P., Hoffmann, R., Kiener, D., Scheu, C. & Mitterer, C., 2011, in: Journal of vacuum science & technology / A (JVST). S. 0415061-0415068Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)
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Effects of thermal annealing on the microstructure of sputtered Al 2O3 coatings
Edlmayr, V., Harzer, T. P., Hoffmann, R., Kiener, D., Scheu, C. & Mitterer, C., Juli 2011, in: Journal of vacuum science & technology / A (JVST). 29, 4, 041506.Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)
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Electromechanical properties of cathodic arc deposited high entropy alloy thin films on polymer substrates
Xia, A., Glushko, O., Cordill, M. & Franz, R., 2018, in: Journal of vacuum science & technology / A (JVST). S. 010601-1-010601-4Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)
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Erosion behavior of composite Al-Cr cathodes in cathodic arc plasmas in inert and reactive atmospheres
Franz, R., Mendez Martin, F., Hawranek, G. & Polcik, P., 2016, in: Journal of vacuum science & technology / A (JVST). Vol. 34, No. 2, S. 1-8 8 S.Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)
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Impact of Yttrium on structure and mechanical properties of Cr-Al-N thin films
Rovere, F. & Mayrhofer, P. H., 2007, in: Journal of vacuum science & technology / A (JVST). 25, S. 1336-1340Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)
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Industrial-scale sputter deposition of molybdenum oxide thin films: Microstructure evolution and properties
Pachlhofer, J., Martin-Luengo, A. T., Franz, R., Franzke, E., Köstenbauer, H., Winkler, J., Bonanni, A. & Mitterer, C., 4 Jan. 2017, in: Journal of vacuum science & technology / A (JVST). 35.2017, 2, 8 S., 021504.Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)
