Journal of vacuum science & technology / A (JVST), ‎0734-2101

Fachzeitschrift: Zeitschrift

ISSNs0734-2101

Publikationen

  1. Veröffentlicht

    Link between cracking mechanisms of trilayer films on flexible substrates and electro-mechanical reliability under biaxial loading

    Altaf Husain, S., Kreiml, P., Renault, P.-O., Mitterer, C., Cordill, M. J. & Faurie, D., 14 März 2023, in: Journal of vacuum science & technology / A (JVST). 41.2023, 3, 8 S., 033403.

    Publikationen: Beitrag in FachzeitschriftArtikelForschung(peer-reviewed)

  2. Veröffentlicht

    Para-Sexiphenyl Thin Films Grown by Hot Wall Epitaxy on KCI(001)substrates

    Andreev, A., Montaigne, A., Hlawacek, G., Sitter, H. & Teichert, C., 2006, in: Journal of vacuum science & technology / A (JVST). 24, S. 1660-1663

    Publikationen: Beitrag in FachzeitschriftArtikelForschung(peer-reviewed)

  3. Veröffentlicht

    Structure, stress, and mechanical properties of Mo-Al-N thin films deposited by dc reactive magnetron cosputtering: Role of point defects

    Angay, F., Löfler, L., Tetard, F., Eyidi, D., Djemia, P., Holec, D. & Abadias, G., 1 Sept. 2020, in: Journal of vacuum science & technology / A (JVST). 38.2020, 5, S. ´ 14 S., 053401.

    Publikationen: Beitrag in FachzeitschriftArtikelForschung(peer-reviewed)

  4. Veröffentlicht

    Effects of thermal annealing on the microstructure of sputtered Al2O3 coatings

    Edlmayr, V., Harzer, T. P., Hoffmann, R., Kiener, D., Scheu, C. & Mitterer, C., 2011, in: Journal of vacuum science & technology / A (JVST). S. 0415061-0415068

    Publikationen: Beitrag in FachzeitschriftArtikelForschung(peer-reviewed)

  5. Veröffentlicht

    Effects of thermal annealing on the microstructure of sputtered Al 2O3 coatings

    Edlmayr, V., Harzer, T. P., Hoffmann, R., Kiener, D., Scheu, C. & Mitterer, C., Juli 2011, in: Journal of vacuum science & technology / A (JVST). 29, 4, 041506.

    Publikationen: Beitrag in FachzeitschriftArtikelForschung(peer-reviewed)

  6. Veröffentlicht

    Investigation on structure and properties of arc-evaporated HfAIN hard coatings

    Franz, R., Mitterer, C., Lechthaler, M. & Polzer, C., 2010, in: Journal of vacuum science & technology / A (JVST). S. 528-535

    Publikationen: Beitrag in FachzeitschriftArtikelForschung(peer-reviewed)

  7. Veröffentlicht

    Oxidation and diffusion processes during annealing of AlCrVN hard coatings

    Franz, R., Neidhardt, J., Mitterer, C., Schaffer, B., Hutter, H., Kaindl, R., Sartory, B., Tessadri, R., Lechthaler, M. & Polcik, P., 2008, in: Journal of vacuum science & technology / A (JVST). A26, S. 302-308

    Publikationen: Beitrag in FachzeitschriftArtikelForschung(peer-reviewed)

  8. Veröffentlicht

    Erosion behavior of composite Al-Cr cathodes in cathodic arc plasmas in inert and reactive atmospheres

    Franz, R., Mendez Martin, F., Hawranek, G. & Polcik, P., 2016, in: Journal of vacuum science & technology / A (JVST). Vol. 34, No. 2, S. 1-8 8 S.

    Publikationen: Beitrag in FachzeitschriftArtikelForschung(peer-reviewed)

  9. Veröffentlicht

    Tailoring age hardening of Ti1-xAlxN by Ta alloying

    Großmann, B., Jamnig, A., Schalk, N., Czettl, C., Pohler, M. & Mitterer, C., 13 Sept. 2017, in: Journal of vacuum science & technology / A (JVST). 35.2017, 6, 6 S., 060604.

    Publikationen: Beitrag in FachzeitschriftArtikelForschung(peer-reviewed)

  10. Veröffentlicht

    Oxidation and wet etching behavior of sputtered Mo-Ti-Al films

    Jörg, T., Hofer-Roblyek, A. M., Köstenbauer, H., Winkler, J. & Mitterer, C., 2018, in: Journal of vacuum science & technology / A (JVST). 36, S. 021513-1-021513-5

    Publikationen: Beitrag in FachzeitschriftArtikelForschung(peer-reviewed)

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