Photonic superlattice multilayers for EUV lithography infrastructure
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Autoren
Organisationseinheiten
Details
| Originalsprache | Englisch |
|---|---|
| Titel | 34th European Mask and Lithography Conference |
| Herausgeber (Verlag) | SPIE |
| Band | 10775 |
| ISBN (Print) | 9781510621213 |
| DOIs | |
| Status | Veröffentlicht - 1 Jan. 2018 |
| Veranstaltung | 34th European Mask and Lithography Conference, EMLC 2018 - Grenoble, Frankreich Dauer: 18 Juni 2018 → 20 Juni 2018 |
Konferenz
| Konferenz | 34th European Mask and Lithography Conference, EMLC 2018 |
|---|---|
| Land/Gebiet | Frankreich |
| Ort | Grenoble |
| Zeitraum | 18/06/18 → 20/06/18 |
