Neuester Forschungsoutput

• Bragg mirrors with modified period for sub-10-nm wavelengths

  Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)

• Multilayer Mirrors for Radiation Beyond the Extreme Ultraviolet

  Publikationen: Konferenzbeitrag › Poster › Forschung › (peer-reviewed)

• Photonic superlattice multilayers for EUV lithography infrastructure

  Publikationen: Beitrag in Buch/Bericht/Konferenzband › Beitrag in Konferenzband