Simulation von EUV-Spiegeln
Publikationen: Konferenzbeitrag › Poster › Transfer
Autoren
Organisationseinheiten
Details
| Originalsprache | Deutsch |
|---|---|
| Status | Veröffentlicht - 17 Mai 2018 |
| Veranstaltung | Silicon Alps Spotlight: Neue Materialien und Materialtechnologien für Innovationen in der Mikroelektronik - Impulszentrum Werkstoffe, Leoben, Österreich Dauer: 17 Mai 2018 → 17 Mai 2018 https://www.silicon-alps.at/veranstaltungen/silicon-alps-spotlight-materialforschung-fuer-mikroelektronik-in-leoben/ |
Konferenz
| Konferenz | Silicon Alps Spotlight |
|---|---|
| Land/Gebiet | Österreich |
| Ort | Leoben |
| Zeitraum | 17/05/18 → 17/05/18 |
| Internetadresse |
