Modification and characterization of thin silicon gate oxides using conducting atomic force microscopy
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Details
| Titel in Übersetzung | Modification and characterization of thin silicon gate oxides using conducting atomic force microscopy |
|---|---|
| Originalsprache | Englisch |
| Seiten (von - bis) | 88-93 |
| Fachzeitschrift | Materials science and engineering B (Solid-state materials for advanced technology) |
| Jahrgang | 102 |
| Status | Veröffentlicht - 2003 |
