Ion-bombardment induced morphology change of device related SiGe multilayer heterostructures

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Autoren

Titel in Übersetzung	Ion-bombardment induced morphology change of device related SiGe multilayer heterostructures
Originalsprache	Englisch
Seiten (von - bis)	267-273
Fachzeitschrift	Applied surface science
Jahrgang	256
DOIs	https://doi.org/10.1016/j.apsusc.2009.08.013
Status	Veröffentlicht - 2009