Interfacial coherency stress distribution in TiN/AlN bilayer and multilayer films studied by FEM analysis

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Autoren

Titel in Übersetzung	Interfacial coherency stress distribution in TiN/AlN bilayer and multilayer films studied by FEM analysis
Originalsprache	Englisch
Seiten (von - bis)	211-216
Fachzeitschrift	Computational materials science
Jahrgang	55
DOIs	https://doi.org/10.1016/j.commatsci.2011.11.024
Status	Veröffentlicht - 2012