Industrial-scale sputter deposition of Cr1-xAlxN coatings with various compositions from segmented powder-metallurgical targets

Publikationen: KonferenzbeitragPosterForschung(peer-reviewed)

Details

Titel in ÜbersetzungIndustrial-scale sputter deposition of Cr1-xAlxN coatings with various compositions from segmented powder-metallurgical targets
OriginalspracheEnglisch
StatusVeröffentlicht - 2013
Veranstaltung18th Plansee Seminar - Reutte, Österreich
Dauer: 3 Juni 20137 Juni 2013

Konferenz

Konferenz18th Plansee Seminar
Land/GebietÖsterreich
OrtReutte
Zeitraum3/06/137/06/13