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Combinatorial synthesis of Cr1−xAlxN and Ta1−xAlxN coatings using industrial scale co-sputtering
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Increased thermal stability of Ti1-xAlxN/TiN multilayer coatings through high temperature sputter deposition on powder-metallurgical high-speed steels
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Industrial-scale sputter deposition of Cr1-xAlxN coatings with 0.21<x <0.74 from segmented targets
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