Industrial-scale sputter deposition of Cr1-xAlxN coatings with 0.21<x <0.74 from segmented targets

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Autoren

Titel in Übersetzung	Industrial-scale sputter deposition of Cr1-xAlxN coatings with 0.21<x <0.74 from segmented targets
Originalsprache	Englisch
Seiten (von - bis)	303-310
Fachzeitschrift	Surface & coatings technology
Jahrgang	232
DOIs	https://doi.org/10.1016/j.surfcoat.2013.05.022
Status	Veröffentlicht - 2013