Evaluation of experimental stress-strain dependence in thermally cycled Al thin film on Si(100)

Publikationen: Beitrag in FachzeitschriftArtikelForschung(peer-reviewed)

Autoren

  • Martin Hafok
  • Ernst Eiper
  • A. Hofer
  • R. Resel
  • C. Eisenmenger-Sittner

Organisationseinheiten

Externe Organisationseinheiten

  • Materials Center Leoben Forschungs GmbH

Details

Titel in ÜbersetzungEvaluation of experimental stress-strain dependence in thermally cycled Al thin film on Si(100)
OriginalspracheEnglisch
Seiten (von - bis)367-371
FachzeitschriftPowder diffraction
Jahrgang19
StatusVeröffentlicht - 2004