Journal of vacuum science & technology / A (JVST), 0734-2101
Fachzeitschrift: Zeitschrift
| ISSNs | 0734-2101 |
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Publikationen
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Electromechanical properties of cathodic arc deposited high entropy alloy thin films on polymer substrates
Xia, A., Glushko, O., Cordill, M. & Franz, R., 2018, in: Journal of vacuum science & technology / A (JVST). S. 010601-1-010601-4Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)
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Oxidation behavior of arc evaporated Al-Cr-Si-N thin films
Tritremmel, C., Daniel, R., Mitterer, C., Mayrhofer, P. H., Lechthaler, M. & Polcik, P., 2012, in: Journal of vacuum science & technology / A (JVST). 30, S. 061501-1-061501-6Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)
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Effect of discharge power on target poisoning and coating properties in reactive magnetron sputter deposition of TiN
Saringer, C., Franz, R., Zorn, K. & Mitterer, C., 1 Juli 2016, in: Journal of vacuum science & technology / A (JVST). 34.2016, 4, 8 S., 041517.Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)
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Influence of discharge power and bias potential on microstructure and hardness of sputtered amorphous carbon coatings
Saringer, C., Oberroither, C., Zorn, K., Franz, R. & Mitterer, C., 2018, in: Journal of vacuum science & technology / A (JVST). 36, 2Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)
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Thermal stability and thermo-mechanical properties of magnetron sputtered Cr-Al-Y-N coatings
Rovere, F. & Mayrhofer, P. H., 2008, in: Journal of vacuum science & technology / A (JVST). A26, S. 29-35Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)
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Impact of Yttrium on structure and mechanical properties of Cr-Al-N thin films
Rovere, F. & Mayrhofer, P. H., 2007, in: Journal of vacuum science & technology / A (JVST). 25, S. 1336-1340Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)
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Oxidation of arc evaporated Al1-xCrxN coatings
Reiter, A., Mitterer, C. & Sartory, B., 2007, in: Journal of vacuum science & technology / A (JVST). A 25, S. 711-720Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)
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Angular resolved mass-energy analysis of species emitted from a dc magnetron sputtered NiW-target
Rausch, M., Mraz, S., Kreiml, P., Cordill, M. J., Schneider, J. M., Winkler, J. & Mitterer, C., 2020, in: Journal of vacuum science & technology / A (JVST). 38.2020, 2, S. 1-10 023401.Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)
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Tuning of material properties of ZnO thin films grown by plasma-enhanced atomic layer deposition at room temperature
Pilz, J., Perrotta, A., Christian, P., Tazreiter, M., Resel, R., Leising, G., Griesser, T. & Coclite, A. M., 1 Jan. 2018, in: Journal of Vacuum Science and Technology A: Vacuum, Surfaces and Films. 36, 1, 01A109.Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)
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On the effect of Ta on improved oxidation resistance of Ti-Al-Ta-N coatings
Pfeiler, M., Scheu, C., Hutter, H., Schnöller, J., Michotte, C., Mitterer, C. & Kathrein, M., 2009, in: Journal of vacuum science & technology / A (JVST). 27, S. 554-560Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)
