The origin of stresses in magnetron sputtered thin films
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Details
| Titel in Übersetzung | The origin of stresses in magnetron sputtered thin films |
|---|---|
| Originalsprache | Englisch |
| Titel | Proceedings of 4th International Conference on Surface, coatings and Nanostructured Materials |
| Seiten | 44-44 |
| Status | Veröffentlicht - 2009 |
