Structure evolution in reactively sputtered molybdenum oxide thin films

Publikationen: Beitrag in FachzeitschriftArtikelForschung(peer-reviewed)

Autoren

Externe Organisationseinheiten

  • Plansee SE, Reutte

Details

OriginalspracheEnglisch
Seiten (von - bis)246-251
Seitenumfang6
FachzeitschriftVacuum
Ausgabenummer131
DOIs
StatusVeröffentlicht - 2016