Stress measurement in thin films with the ion beam layer removal method: Influence of experimental errors and parameters
Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)
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| Titel in Übersetzung | Stress measurement in thin films with the ion beam layer removal method: Influence of experimental errors and parameters |
|---|---|
| Originalsprache | Englisch |
| Seiten (von - bis) | 8655-8662 |
| Fachzeitschrift | Thin solid films |
| Jahrgang | 516 |
| Status | Veröffentlicht - 2008 |
