Stress Factors and Absolute Residual Stresses in Thin Films Determined by the Combination of Curvature and sin2ψ Methods

Publikationen: Beitrag in FachzeitschriftArtikelForschung(peer-reviewed)

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Titel in ÜbersetzungStress Factors and Absolute Residual Stresses in Thin Films Determined by the Combination of Curvature and sin2ψ Methods
OriginalspracheEnglisch
Seiten (von - bis)711-715
FachzeitschriftMaterials Science Forum
Jahrgang524-525
StatusVeröffentlicht - 2006