Stress Factors and Absolute Residual Stresses in Thin Films Determined by the Combination of Curvature and sin2ψ Methods
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Titel in Übersetzung | Stress Factors and Absolute Residual Stresses in Thin Films Determined by the Combination of Curvature and sin2ψ Methods |
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Originalsprache | Englisch |
Seiten (von - bis) | 711-715 |
Fachzeitschrift | Materials Science Forum |
Jahrgang | 524-525 |
Status | Veröffentlicht - 2006 |