Oxidation and wet etching behavior of sputtered ternary molybdenum films
Publikationen: Konferenzbeitrag › Vortrag › Forschung
Autoren
Organisationseinheiten
Details
| Originalsprache | Englisch |
|---|---|
| Status | Veröffentlicht - 2014 |
| Veranstaltung | 14th IMID - Dauer: 26 Aug. 2014 → … |
Konferenz
| Konferenz | 14th IMID |
|---|---|
| Zeitraum | 26/08/14 → … |
