Oxidation and wet etching behavior of sputtered ternary molybdenum films

Publikationen: Konferenzbeitrag › Vortrag › Forschung

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Aktivitäten

  1. 2014

  2. 14th IMID

    Tanja Jörg (Redner/-in)

    26 Aug. 2014 → 29 Aug. 2014

    Aktivität: Teilnahme an oder Organisation einer Veranstaltung › Konferenzteilnahme

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