Microstructure related stress state in magnetron sputtered thin films
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Details
| Titel in Übersetzung | Microstructure related stress state in magnetron sputtered thin films |
|---|---|
| Originalsprache | Englisch |
| Titel | Proceedings E-MRS Spring Meeting |
| Seiten | 25-25 |
| Status | Veröffentlicht - 2009 |
