Microstructural and stress design of thin films - The journey from nitrides to oxides, from nanocrystalline to amorphous materials
Publikationen: Konferenzbeitrag › Vortrag › Forschung › (peer-reviewed)
Autoren
Organisationseinheiten
Details
Originalsprache | Englisch |
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Status | Veröffentlicht - 2014 |
Veranstaltung | 72nd IUVSTA Workshop - Dauer: 6 Apr. 2014 → … |
Konferenz
Konferenz | 72nd IUVSTA Workshop |
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Zeitraum | 6/04/14 → … |