Investigation of fracture properties of magnetron-sputtered TiN films by means of a FIB-based cantilever bending technique
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| Titel in Übersetzung | Investigation of fracture properties of magnetron-sputtered TiN films by means of a FIB-based cantilever bending technique |
|---|---|
| Originalsprache | Englisch |
| Seiten (von - bis) | 1768-1776 |
| Fachzeitschrift | Acta materialia |
| Jahrgang | 57 |
| Status | Veröffentlicht - 2009 |
