Integrated experimental and computational approach for residual stress investigation near through-silicon vias
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Autoren
Organisationseinheiten
Details
| Originalsprache | undefiniert/unbekannt |
|---|---|
| Fachzeitschrift | Journal of applied physics |
| Jahrgang | 120 |
| Ausgabenummer | 19 |
| DOIs | |
| Status | Veröffentlicht - 2016 |
