Influence of microstructure on diffusion barrier properties of TiN investigated by TEM and APT

Publikationen: Konferenzbeitrag › Vortrag › Forschung › (peer-reviewed)

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Aktivitäten

  1. 2014

  2. 3rd International Conference nanoFIS - Integrated Functional nano Systems

    Marlene Mühlbacher (Redner/-in)

    3 Dez. 2014

    Aktivität: Teilnahme an oder Organisation einer Veranstaltung › Konferenzteilnahme

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