Characterization of silicon gate oxides by conducting atomic-force microscopy

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Autoren

Titel in Übersetzung	Characterization of silicon gate oxides by conducting atomic-force microscopy
Originalsprache	Englisch
Seiten (von - bis)	168-172
Fachzeitschrift	Surface and interface analysis
Jahrgang	33
DOIs	https://doi.org/10.1002/sia.1183
Status	Veröffentlicht - 2002