Characterization of Mo/Si soft X-ray multilayer mirrors by grazing-incidence small-angle X-ray scattering
Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)
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in: Vacuum, Jahrgang 89, 2009, S. 19-25.
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TY - JOUR
T1 - Characterization of Mo/Si soft X-ray multilayer mirrors by grazing-incidence small-angle X-ray scattering
AU - Siffalovic, P.
AU - Majkova, E.
AU - Chitu, L.
AU - Jergel, M.
AU - Luby, S.
AU - Keckes, Jozef
AU - Maier, Günther Alois
AU - Timmann, A.
AU - Roth, S.V.
AU - Tsuru, T.
AU - Harada, T.
AU - Yamamoto, M.
AU - Heinzmann, U.
PY - 2009
Y1 - 2009
M3 - Article
VL - 89
SP - 19
EP - 25
JO - Vacuum
JF - Vacuum
SN - 0042-207X
ER -