Characterization of Mo/Si soft X-ray multilayer mirrors by grazing-incidence small-angle X-ray scattering
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| Titel in Übersetzung | Characterization of Mo/Si soft X-ray multilayer mirrors by grazing-incidence small-angle X-ray scattering |
|---|---|
| Originalsprache | Englisch |
| Seiten (von - bis) | 19-25 |
| Fachzeitschrift | Vacuum |
| Jahrgang | 89 |
| Status | Veröffentlicht - 2009 |
