Annealing of intrinsic stresses in sputtered TiN films: The role of thickness-dependent gradients of point defect density

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Autoren

Titel in Übersetzung	Annealing of intrinsic stresses in sputtered TiN films: The role of thickness-dependent gradients of point defect density
Originalsprache	Englisch
Seiten (von - bis)	4777-4780
Fachzeitschrift	Surface & coatings technology
Jahrgang	201
DOIs	https://doi.org/10.1016/j.surfcoat.2006.10.017
Status	Veröffentlicht - 2007