Annealing of intrinsic stresses in sputtered TiN films: The role of thickness-dependent gradients of point defect density
Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)
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Details
| Titel in Übersetzung | Annealing of intrinsic stresses in sputtered TiN films: The role of thickness-dependent gradients of point defect density |
|---|---|
| Originalsprache | Englisch |
| Seiten (von - bis) | 4777-4780 |
| Fachzeitschrift | Surface & coatings technology |
| Jahrgang | 201 |
| DOIs | |
| Status | Veröffentlicht - 2007 |
