A structural and topographical study of low-pressure chemical-vapor-deposited polysilicon by scanning probe microscopy
Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)
Autoren
Organisationseinheiten
Details
| Originalsprache | Englisch |
|---|---|
| Seiten (von - bis) | 6749-6754 |
| Fachzeitschrift | Journal of applied physics |
| Jahrgang | 81 |
| Status | Veröffentlicht - 1997 |
