A direct method of determining complex depth profiles of residual stresses in thin films on a nanoscale

Publikationen: Beitrag in FachzeitschriftArtikelForschung(peer-reviewed)

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Titel in ÜbersetzungA direct method of determining complex depth profiles of residual stresses in thin films on a nanoscale
OriginalspracheEnglisch
Seiten (von - bis)4835-4844
FachzeitschriftActa materialia
Jahrgang55
StatusVeröffentlicht - 2007