Marlene Mühlbacher
(Ehemalig)
Publikationen
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Diffusion Studies in the TiN/Cu Bilayer System and Beyond
Mühlbacher, M., Mendez Martin, F., Sartory, B., Greczynski, G., Lu, J., Schalk, N., Hultman, L. & Mitterer, C., 2016.Publikationen: Konferenzbeitrag › Vortrag › Forschung › (peer-reviewed)
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Electrosorption of Hydrogen in Pd-Based Metallic Glass Nanofilms
Sarac, B., Karazehir, T., Mühlbacher, M., Kaynak, B., Gammer, C., Schöberl, T., Sarac, A. S. & Eckert, J., 1 Mai 2018, in: ACS Applied Energy Materials. 1.2018, 6, S. 2630-2646 17 S.Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)
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Enhanced Ti0.84Ta0.16N diffusion barriers, grown by a hybrid sputtering technique with no substrate heating, between Si (001) wafers and Cu overlayers
Mühlbacher, M., Greczynski, G., Sartory, B., Schalk, N., Lu, J., Petrov, I., Greene, J. E., Hultman, L. & Mitterer, C., 2018, in: Scientific reports (London : Nature Publishing Group). S. 1-9Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)
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Evaluation of TiN diffusion barrier layers with different microstructures by transmission electron microscopy and atom probe tomography
Mühlbacher, M., Mendez Martin, F., Sartory, B., Chitu, L., Lu, J., Schalk, N., Keckes, J., Hultman, L. & Mitterer, C., 2015.Publikationen: Konferenzbeitrag › Vortrag › Forschung › (peer-reviewed)
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Functional thin films for display and microelectronics applications
Mitterer, C., Jörg, T., Franz, R., Mühlbacher, M., Sartory, B., Mendez Martin, F. & Schalk, N., 2015, in: Berg- und hüttenmännische Monatshefte : BHM. 160, 5, S. 231-234Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)
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Funktionale Schichten in der µ-Elektronik
Mitterer, C., Franz, R., Jachs, C., Hofer, A. M., Jörg, T., Pachlhofer, J. & Mühlbacher, M., 2014.Publikationen: Konferenzbeitrag › Poster › Forschung › (peer-reviewed)
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Influence of Fe impurities on structure and properties of AlCrN films grown by cathodic arc evaporation
Mühlbacher, M., 2011, 34 S.Publikationen: Thesis / Studienabschlussarbeiten und Habilitationsschriften › Diplomarbeit › (peer-reviewed)
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Influence of Fe impurities on structure and properties of arc-evaporated AlCrN coatings
Mühlbacher, M., Franz, R., Paulitsch, J., Rudigier, H., Polcik, P., Mayrhofer, P. H. & Mitterer, C., 2013, in: Surface & coatings technology. 215, S. 96-103Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)
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Influence of microstructure on diffusion barrier properties of TiN investigated by TEM and APT
Mühlbacher, M., Mendez Martin, F., Sartory, B., Lu, J., Schalk, N., Lars, H. & Mitterer, C., 2014.Publikationen: Konferenzbeitrag › Vortrag › Forschung › (peer-reviewed)
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Interdiffusion within model TiN/Cu and TiTaN/Cu systems synthesized by combinatorial thin film deposition
Mühlbacher, M., 2015Publikationen: Thesis / Studienabschlussarbeiten und Habilitationsschriften › Dissertation
