Julia Pachlhofer
(Ehemalig)
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Publikationen
- 2017
- Veröffentlicht
Industrial-scale sputter deposition of molybdenum oxide thin films: Microstructure evolution and properties
Pachlhofer, J., Martin-Luengo, A. T., Franz, R., Franzke, E., Köstenbauer, H., Winkler, J., Bonanni, A. & Mitterer, C., 4 Jan. 2017, in: Journal of vacuum science & technology / A (JVST). 35.2017, 2, 8 S., 021504.Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)
- 2016
- Veröffentlicht
DC Magnetron Sputter Deposition of Molybdenum Oxide Thin Films from Metallic Mo and Ceramic MoOx Targets: Synthesis, Structure and Property Relations
Pachlhofer, J., 2016Publikationen: Thesis / Studienabschlussarbeiten und Habilitationsschriften › Dissertation
- Veröffentlicht
Structure evolution in reactively sputtered molybdenum oxide thin films
Pachlhofer, J., Jachs, C., Franz, R., Franzke, E., Köstenbauer, H., Winkler, J. & Mitterer, C., 2016, in: Vacuum. 131, S. 246-251 6 S.Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)
- 2015
- Veröffentlicht
Structure-property relations in reactively sputtered molybdenum oxide thin films
Pachlhofer, J., Jachs, C., Franz, R., Franzke, E., Winkler, J. & Mitterer, C., 2015.Publikationen: Konferenzbeitrag › Vortrag › Forschung › (peer-reviewed)
- 2014
- Veröffentlicht
Funktionale Schichten in der µ-Elektronik
Mitterer, C., Franz, R., Jachs, C., Hofer, A. M., Jörg, T., Pachlhofer, J. & Mühlbacher, M., 2014.Publikationen: Konferenzbeitrag › Poster › Forschung › (peer-reviewed)
- 2013
- Veröffentlicht
Sputtered polymeric hydrogenated amorphous carbon thin films for temporary medical implants
Pachlhofer, J., 2013, 52 S.Publikationen: Thesis / Studienabschlussarbeiten und Habilitationsschriften › Diplomarbeit › (peer-reviewed)
