Georg Gruber
(Ehemalig)
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Publikationen
- 2019
- Veröffentlicht
The sputter performance of an industrial-scale planar Mo-target over ist lifetime: Target erosion and film properties
Rausch, M., Sabag, A., Pichler, K-H., Gruber, G., Köstenbauer, J., Köstenbauer, H., Kreiml, P., Cordill, M. J., Winkler, J. & Mitterer, C., 2019, in: Surface & coatings technology. 381.2020, 15 January, 14 S., 125174.Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)
