The sputter performance of an industrial-scale planar Mo-target over ist lifetime: Target erosion and film properties

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Autoren

Plansee SE, Reutte
Erich-Schmid-Institut für Materialwissenschaft der Österreichischen Akademie der Wissenschaften

Originalsprache	Englisch
Aufsatznummer	125174
Seitenumfang	14
Fachzeitschrift	Surface & coatings technology
Jahrgang	381.2020
Ausgabenummer	15 January
Frühes Online-Datum	18 Nov. 2019
DOIs	https://doi.org/10.1016/j.surfcoat.2019.125174
Status	Veröffentlicht - 2019