Hochtemperatur-Röntgendiffraktion - Spannungen und Deformationen in dünnen Aluminium-Schichten auf Silizium

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Translated title of the contributionHochtemperatur-Röntgendiffraktion - Spannungen und Deformationen in dünnen Aluminium-Schichten auf Silizium
Original languageGerman
Title of host publicationHandbuch der Nanoanalytik
Pages170-172
Publication statusPublished - 2005
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