Hochtemperatur-Röntgendiffraktion - Spannungen und Deformationen in dünnen Aluminium-Schichten auf Silizium
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Details
| Titel in Übersetzung | Hochtemperatur-Röntgendiffraktion - Spannungen und Deformationen in dünnen Aluminium-Schichten auf Silizium |
|---|---|
| Originalsprache | Deutsch |
| Titel | Handbuch der Nanoanalytik |
| Seiten | 170-172 |
| Status | Veröffentlicht - 2005 |
