Hochtemperatur-Röntgendiffraktion - Spannungen und Deformationen in dünnen Aluminium-Schichten auf Silizium

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Hochtemperatur-Röntgendiffraktion - Spannungen und Deformationen in dünnen Aluminium-Schichten auf Silizium. / Resch, C.; Keckes, Jozef; Eiper, Ernst et al.
Handbuch der Nanoanalytik. 2005. p. 170-172.

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Resch, C, Keckes, J, Eiper, E & Resel, E 2005, Hochtemperatur-Röntgendiffraktion - Spannungen und Deformationen in dünnen Aluminium-Schichten auf Silizium. in Handbuch der Nanoanalytik. pp. 170-172.

APA

Resch, C., Keckes, J., Eiper, E., & Resel, E. (2005). Hochtemperatur-Röntgendiffraktion - Spannungen und Deformationen in dünnen Aluminium-Schichten auf Silizium. In Handbuch der Nanoanalytik (pp. 170-172)

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TY - CHAP

T1 - Hochtemperatur-Röntgendiffraktion - Spannungen und Deformationen in dünnen Aluminium-Schichten auf Silizium

AU - Resch, C.

AU - Keckes, Jozef

AU - Eiper, Ernst

AU - Resel, E.

PY - 2005

Y1 - 2005

M3 - Beitrag in Buch/Sammelband

SP - 170

EP - 172

BT - Handbuch der Nanoanalytik

ER -