Fokussierte Ionenstrahl-Technik (FIB) in der Mikro- und Nanomechanik
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Fokussierte Ionenstrahl-Technik (FIB) in der Mikro- und Nanomechanik. / Motz, Christian; Kiener, Daniel; Schöberl, Thomas et al.
Handbuch der Nanoanalytik. 2005. p. 162-163.
Handbuch der Nanoanalytik. 2005. p. 162-163.
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Motz, C, Kiener, D, Schöberl, T, Pippan, R & Dehm, G 2005, Fokussierte Ionenstrahl-Technik (FIB) in der Mikro- und Nanomechanik. in Handbuch der Nanoanalytik. pp. 162-163.
APA
Motz, C., Kiener, D., Schöberl, T., Pippan, R., & Dehm, G. (2005). Fokussierte Ionenstrahl-Technik (FIB) in der Mikro- und Nanomechanik. In Handbuch der Nanoanalytik (pp. 162-163)
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Motz C, Kiener D, Schöberl T, Pippan R, Dehm G. Fokussierte Ionenstrahl-Technik (FIB) in der Mikro- und Nanomechanik. In Handbuch der Nanoanalytik. 2005. p. 162-163
Author
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TY - CHAP
T1 - Fokussierte Ionenstrahl-Technik (FIB) in der Mikro- und Nanomechanik
AU - Motz, Christian
AU - Kiener, Daniel
AU - Schöberl, Thomas
AU - Pippan, Reinhard
AU - Dehm, Gerhard
PY - 2005
Y1 - 2005
M3 - Beitrag in Buch/Sammelband
SP - 162
EP - 163
BT - Handbuch der Nanoanalytik
ER -
