Fokussierte Ionenstrahl-Technik (FIB) in der Mikro- und Nanomechanik
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Details
| Translated title of the contribution | Fokussierte Ionenstrahl-Technik (FIB) in der Mikro- und Nanomechanik |
|---|---|
| Original language | German |
| Title of host publication | Handbuch der Nanoanalytik |
| Pages | 162-163 |
| Publication status | Published - 2005 |
